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RTP快速退火炉
发布时间: 2017-11-15 14:35:09 浏览次数:22672
设备简介:
快速退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但拥有非常快的升温速率,而且在烧结工艺运行完结后,直接将试样移动至室温下,实现物理状态下的快速降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。
设备特点: 1、双层钢结构; 2、高纯度Al2O3纤维耐火保温材料,最大节约能源; 3、耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命; 4、氧化铝管塞可帮助您在管内建立自定义的温度梯度; 5、该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6。 | |||||||
产品型号 | NBD-HR1200-110TI | ||||||
电气规格 | AC380V 15KW | ||||||
可达温度 | 1100 ℃(长时间使用必须外接水冷装置) | ||||||
长期使用温度范围 | 300~1150℃ (连续使用必须外接水冷装置) | ||||||
可达加热速率 | 建议≤ 100 ℃/S | ||||||
加热区长度 | 200mm | ||||||
传感器类型 | S型单铂铑 | ||||||
反应腔室内径尺寸 | Φ100X200mm | ||||||
式样有效空间 | 3.5" | ||||||
炉管尺寸 | Φ80*120mm | ||||||
控制系统 | 1、可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦; 2、实验过程更加直观,操作更加便捷; 3、NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正; 4、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | ||||||
温度精度 | +/- 1 ℃ | ||||||
加热元件 | 红外灯管加热 | ||||||
密封系统 | |||||||
真空度:≤5Pa(机械泵) | |||||||
压力测量与监控 | 采用数显真空计,可使设备炉管内的真空度显示更加直观,实验结果更加准确。 | ||||||
净重 | 90KG | ||||||
设备使用注意事项 | 1、设备炉膛温度≥300℃时,移动炉膛后,禁止触碰原炉膛所在位置的石英管,避免受到伤害; 2、设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害; 3、设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏; 4、真空下使用时,设备使用温度不得超过800℃。 5、供气钢瓶内部气压较高,向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在选购试验用小压力减压阀,减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。 6、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态; 7、高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃ 8、加热的实验时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若绝对压力表读数大于0.15MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂等) | ||||||
服务支持 | 1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如炉管和O形圈等) |
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