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液气CVD一体机

发布时间:1970-01-01 00:00:00  浏览次数:1187


设备简介:

诺巴迪液气CVD一体机,通过高精度氧分析仪确保无氧工作环境。物料在基于旋转摆振结构的石英腔内,能够在稳定均匀的温场内,最大程度地与反应气体充分接触。独有悬挂式气相发生器,能够在工作腔摆振的同时,始终保持水平稳定输出。多路质量流量控制器,可精确控制气体流量。

高密封性连接工艺,确保可燃性气体及有毒有害气体无任何泄露,高灵敏度压力传感器及电磁阀可保证工作腔室内的压力始终在设定范围。易燃易爆及有毒有害气体检测仪与设备联动,可及时获取实时数据并采取相应闭合措施,同时,两个报警仪在超出设定警戒值时发出预警提示。工作腔室排出的尾气通过尾气处理罐进行无害化处理。



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1.通过高精度氧分析仪确保无氧工作环境;

2.物料在基于旋转摆振结构的异形石英腔内,能够在稳定均匀的温场内,最大程度地与反应气体充分接触;

3.独有悬挂式气相发生器,能够在工作腔摆振的同时,始终保持水平稳定输出;

4.多路质量流量控制器,可精确控制气体流量;

5.高密封性连接工艺,确保可燃性气体及有毒有害气体无任何泄露,高灵敏度压力传感器及电磁阀可保证工作腔室内的压力始终在设定范围;

6.易燃易爆及有毒有害气体检测仪与设备联动,可及时获取实时数据并采取相应闭合措施,同时,两个报警仪在超出设定警戒值时发出预警提示;

7.工作腔室排出的尾气通过尾气处理罐进行无害化处理。

产品型号

NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N

供电电源

三相380V 50HZ

控温精度

±1℃

额定功率8KW
测温元件类型

K型热电偶 250mm

最高温度

1100℃

加热温区尺寸

φ150*430mm

炉管材质

高纯石英

炉管容积

5L

样品有效容积

500ml

倾斜角度

-20度(出料)~3度(进料)

炉管转速

0.1~12.6转/每分钟

炉体尺寸

长1550×深830×高1360mm(含乙炔报警器2160mm

推荐升温速率

10℃/min

重量

约260KG

控制系统

1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正

* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746

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