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离子溅射仪
发布时间:1970-01-01 00:00:00 浏览次数:7896
设备简介:
NBD-LJ13离子溅射仪为扫描电镜制作样品而设计,结构简单、操作使用直观方便等特点。不需要很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射,可作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。
主要特点: 1.采用4C静音真空泵,各方面降噪,提升实验感受; | ||
控制面板: 真空表:真空度的计量单位mmHg或Pa相对应的刻在表盘上,可方便的读出工作室内的真空度; 电流表:显示溅射电流值单位(mA); 微调阀(充气阀):用于向工作室内进行充气; | ||
高纯石英真空腔体Φ130(内118)*130mm 样品台尺寸:Φ42mm 样品台可调高度:75mm | ||
电气规格 | AC220V 120W | |
腔体尺寸 | Φ130(内118)*130mm | |
样品台尺寸 | 高纯Φ42mm | |
样品台可调高度 | 样品台可调高度:75mm | |
样品温度 | <35~50℃ | |
适用靶材 | 贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pb 常规金属Cu、W、Ag 、Cr 等 | |
溅射速度 | 一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100-300Å,采用经验法测定厚度,可由下面的公式得到 | |
设备使用注意事项 | 1.靶材的更换 | |
标配 | 1.NBD-4C真空泵; 2 金靶1只:Φ58*0.12 3.说明书一份.(可选配分子泵) | |
服务支持 | 一年保修,提供终身服务; | |
净重 | 25KG |
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