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多温区CVD系统
发布时间:1970-01-01 00:00:00 浏览次数:2974
设备简介:
多温区CVD系统一体炉,供气和真空系统灵活组合,满足各类薄膜沉积,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大面积的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料。诺巴迪成套的CVD镀膜系统,适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
1.采用高纯石英或不锈钢材质炉管,耐腐蚀耐高温性能优越; 2.高纯度Al2O3纤维耐火保温材料,保温效果优越,降低设备功耗; 3.炉体采用双层风冷结构工艺,自动抬升系统开启上盖; 4.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,实时加热功率显示,非线性式样温度修正;实验报告自主生成,实验数据无限次导出。 5.一体化设备包含多路供气系统,多温区加热系统和高真空系统; | ||||||||||||||||
产品型号 | 三温区 | 四温区 | 五温区 | 六温区 | ||||||||||||
炉管尺寸 | Ø25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*1600mm | |||||||||||||||
工作温度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||
加热区选择 (可定制) | 200mm*3 200+300+200mm 200+400+200mm 300mm*3 300+400+300mm | 200mm*4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm*4 300+400+400+300mm | 200mm*5 300mm*5 | 200mm*6 300mm*6 | ||||||||||||
升温速率 | ≤20℃/min | |||||||||||||||
电气规格 | AC380V 6~10KW | AC380V 8~14KW | AC380V 10~15KW | AC380V 12~18KW | ||||||||||||
气体系统(可选购) | 浮子或质量流量计(MFC) | |||||||||||||||
管道示意图 | ||||||||||||||||
进气接口数量 | 2、3、4(多路可选) | |||||||||||||||
流量范围 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可选) 50/100/200/500sccm......(多量程可选) | |||||||||||||||
工作压差范围 | 0-0.15MPa | |||||||||||||||
低真空系统(可选购) | 真空泵型号 | NBD-3C/NBD-4C | ||||||||||||||
抽气速率 | 3L/s或4L/s | |||||||||||||||
进排气口尺寸 | KF16/25 | |||||||||||||||
系统真空 | 3~5Pa(真空泵极限真空6.2*10-2Pa) | |||||||||||||||
工作环境温度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
电气规格 | AC220V | |||||||||||||||
高真空系统(可选购) | 真空泵型号 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | |||||||||||||
抽气速率 | 110L/s | 600L/s | ||||||||||||||
真空测量计 | 复合真空计 | |||||||||||||||
系统真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | ||||||||||||||
工作温度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
电气规格 | AC 220V | AC 380V | ||||||||||||||
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